摘  要： 研究了一种高频高压脉冲电源，利用交直流叠加技术，产生高频高压快速上升沿的交流脉冲，满足产生低温等离子体的需求。电源主要由交流电源、直流电源和交直流耦合电路（包括反应器）组成。实验结果表明，交直流叠加电源能够产生良好的低温等离子体。